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      單晶硅晶圓全自動(dòng)測量方案

      單晶硅晶圓全自動(dòng)測量方案,主要由三坐標測量機、上下料庫位,機器人及抓手,自動(dòng)夾具,讀碼槍?zhuān)詣?dòng)測量控制系統等組成,實(shí)現晶圓的自動(dòng)上下料,自動(dòng)測量,數據自動(dòng)保存及判定等功能。

      應用方向

      單晶硅晶圓的全自動(dòng)測量,以及類(lèi)似圓盤(pán)薄片零件的測量需求


      技術(shù)優(yōu)勢

      ? 除人工送檢外,其余動(dòng)作均自動(dòng)完成,可實(shí)現自動(dòng)上下料、自動(dòng)吸附、自動(dòng)檢測、給出檢測結果便于機器人分揀下料;

      ? 機器人抓手及自動(dòng)夾具均采用特殊材質(zhì),避免對工件表面的二次污染;

      ? 機器人抓手及自動(dòng)夾具可兼容多種單晶硅片,工件換型時(shí),只需提前配置測量程序即可;


      用戶(hù)收益

      ? 節省人力成本:全自動(dòng)檢測方案,無(wú)需操作人員

      ? 效率提升:全自動(dòng)上下料、檢測方案,正反面一次測量完成,提高系統檢測效率 100% 以上

      ? 提高設備利用率:全自動(dòng)檢測滿(mǎn)足 24 小時(shí)生產(chǎn),提高設備利用率至 95% 以上

      ? 數字化:檢測完畢,自動(dòng)關(guān)聯(lián)工件身份信息存儲測量報告;并實(shí)時(shí)將檢測數據傳遞至客戶(hù)數據庫,提高數字化和追溯性

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